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摘要：本发明提供了一种高频SAW谐振器及其制备方法。本发明的高频SAW谐振器包括衬底、金刚石基体、金属电极层、压电层、叉指电极和二氧化硅层，金刚石基体设置在衬底上，金属电极层设置在金刚石基体上，压电层设置在金属电极层上，叉指电极间隔设置在压电层上，二氧化硅层设置在叉指电极上以及叉指电极的间隙之间。本发明的高频SAW谐振器具有高工作频率和大带宽等特点，同时带外横向模式频率响应低，有利于滤波器的带外抑制，可以应用于移动通讯领域，满足日益增长的更高频、更大带宽的需求。
主权项：1.一种高频SAW谐振器，其特征在于，包括衬底、金刚石基体、金属电极层、压电层、叉指电极和二氧化硅层，金刚石基体设置在衬底上，金属电极层设置在金刚石基体上，压电层设置在金属电极层上，叉指电极间隔设置在压电层上，二氧化硅层设置在叉指电极上以及叉指电极的间隙之间。
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百度查询： 科之诚集成电路(北京)有限公司 一种高频SAW谐振器及其制备方法
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