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摘要:提供一种具有提高性能的电极结构的SAW谐振器及其制造方法。SAW谐振器包括:压电体基板;以及多个IDT电极,其形成于压电体基板上面,多个IDT电极分别包括:种子层,其叠层于压电体的表面上;以及主电极层,其形成于种子层上,并且在压电层的上部面形成有非晶质层。
主权项:1.一种具有提高性能的电极结构的SAW谐振器,其特征在于,包括:压电体基板;以及多个IDT电极,其形成于压电体基板上面,多个IDT电极分别包括:种子层,其叠层于压电体的表面上;以及主电极层,其形成于种子层上,在压电层的上部面形成有非晶质层。
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