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申请/专利权人：山西中科潞安紫外光电科技有限公司
摘要：本发明属于紫外LED外延片制备技术领域，具体涉及一种具有不同指示色的UVC外延片结构的制备方法，制备方法包括下列步骤：使用MOCVD设备在2寸蓝宝石平面衬底表面制备厚度为800nm~5000nm的AlN，制备得到具有空气隙的氮化铝模板；将具有空气隙的氮化铝模板放入MOCVD中生长结构层。本发明通过控制氮化铝模板中空气隙的高度，进而控制模板的结晶质量，进而控制铝镓氮外延层的缺陷发光，使外延片呈现特定的发光颜色，同时保证不同炉次和同一片外延片的发光颜色一致。本发明通过截面空气隙的高度可以判断外延片的发光颜色，并对外延片根据发光颜色进行分类区分。
主权项：1.一种具有不同指示色的UVC外延片结构的制备方法，其特征在于，包括下列步骤：S1、使用MOCVD设备在2寸蓝宝石平面衬底表面制备厚度为800nm~5000nm的AlN，制备得到具有空气隙的氮化铝模板；S1.1、生长10nm~20nm厚的氮化铝缓冲层；S1.2、在氮化铝缓冲表面继续生长250nm~600nm的3D层；S1.3、在3D层表面继续生长厚度为540nm~4380nm的高温氮化铝层，制备出截面具有高度为300nm~650nm空气隙的氮化铝模板；S2、将具有空气隙的氮化铝模板放入MOCVD中生长结构层；S2.1、在氮化铝模板表面生长1um~3.5um的电子供给层；S2.2、在电子供给层表面生长多量子阱有源层；S2.3、在多量子阱有源层表面生长空穴供给层。
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权利要求：
百度查询： 山西中科潞安紫外光电科技有限公司 一种具有不同指示色的UVC外延片结构的制备方法
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