龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：苏州优晶半导体科技股份有限公司
摘要：本发明的实施例提供了一种上吊装式坩埚设备及使用方法，涉及人工晶体生长技术领域。该上吊装式坩埚设备包括坩埚本体、坩埚轴、连接套以及活动套，坩埚轴设置于坩埚本体的上方，连接套可活动地设置于坩埚本体的顶部，并与坩埚轴连接，连接套设有散热孔，连接套和坩埚本体之间形成空腔，散热孔和空腔连通，活动套和连接套可活动地连接，活动套设有活动孔；其中，活动套用于相对于连接套活动，以调整活动孔与散热孔的重叠区域的大小。从而调整散热区域的大小，实现对坩埚本体的散热能力的调节，从而精准控制坩埚内的温度，尤其是可针对籽晶中心及边缘的温度差进行有效调节，改善籽晶径向温度梯度，确保晶体生长的稳定性，提高晶体质量。
主权项：1.一种上吊装式坩埚设备，其特征在于，包括：坩埚本体（10）；坩埚轴（20），坩埚轴（20）设置于所述坩埚本体（10）的上方；连接套（30），所述连接套（30）可活动地设置于所述坩埚本体（10）的顶部，并与所述坩埚轴（20）连接，所述连接套（30）设有散热孔（40），所述连接套（30）和所述坩埚本体（10）之间形成空腔，所述散热孔（40）和所述空腔连通；活动套（50），所述活动套（50）和所述连接套（30）可活动地连接，所述活动套（50）设有活动孔（60）；其中，所述活动套（50）用于相对于所述连接套（30）活动，以调整所述活动孔（60）与所述散热孔（40）的重叠区域的大小。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州优晶半导体科技股份有限公司 一种上吊装式坩埚设备及使用方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号