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申请/专利权人：江苏中圣高科技产业有限公司

摘要：一种多晶硅生产工艺的余热回收系统及工艺，其特征在于，所述的系统包括汽化器（1）、混合器（2）、过热器（3）、多晶硅还原炉（4）以及撬装余热回收装置（9），所述汽化器（1）的管程进口通过管道与三氯氢硅气源（5）联通，所述汽化器（1）的壳程进口与所述过热器（3）的壳程出口联通，所述混合器（2）的进口与所述汽化器（1）的管程出口通过第一氢气管道（6）与氢气气源（7）联通；所述过热器（3）的管程进口与所述混合器（2）的出口联通，所述过热器（3）的管程出口与所述多晶硅还原炉（4）的一个进口相联通，所述多晶硅还原炉（4）的另一进口通过第二氢气管道（8）与氢气气源（7）相联通，所述多晶硅还原炉（4）的一个出口与所述撬装余热回收装置（9）的内管进口联通。本发明有利于降低能耗和生产成本。

主权项：1.一种多晶硅生产工艺的余热回收系统，其特征在于，包括汽化器（1）、混合器（2）、过热器（3）、多晶硅还原炉（4）以及撬装余热回收装置（9），所述汽化器（1）的管程进口通过管道与三氯氢硅气源（5）联通，所述汽化器（1）的壳程进口与所述过热器（3）的壳程出口联通，所述混合器（2）的进口与所述汽化器（1）的管程出口连通，氢气气源（7）通过第一氢气管道（6）与混合器（2）联通；所述过热器（3）的管程进口与所述混合器（2）的出口联通，所述过热器（3）的管程出口与所述多晶硅还原炉（4）的一个进口相联通，所述多晶硅还原炉（4）的另一进口通过第二氢气管道（8）与氢气气源（7）相联通，所述多晶硅还原炉（4）的一个出口与所述撬装余热回收装置（9）的内管进口联通，另一个出口与所述过热器（3）的壳程进口联通；所述撬装余热回收装置（9）的壳程进口通过管道与换热介质（10）相联通；撬装余热回收尾气（13-1）与原料气预热尾气（13-2）在尾气出口（11）中混合后进入下游回收工艺中回收利用；所述的撬装余热回收装置（9）包括撬装基座（901），尾气余热回收模块（902）和原料气预热模块（903），控制室904，钢架结构905；所述撬装基座（901）上设置有所述钢架结构905，所述钢架结构905各面中间段设置有多个钢支架，所述钢支架上设有滑动管托，所述尾气余热回收模块902以及原料气预热模块903的管道均以滑动管托固定，所述尾气余热回收管道922壳程与原料气预热管道932壳程连接；所述钢架结构905底部中央设置有操作通道，所述控制室904建立在钢架结构905的操作通道上，所述控制室904内部设置有撬块反应操作控制系统以及原料气预热模块903和尾气余热回收模块902的控制管道阀门；所述的尾气余热回收模块902和原料气预热模块903均采用夹套管换热器;所述的夹套管换热器以U型结构排列，且沿钢架结构905内壁依次布置;所述原料气预热模块903和尾气余热回收模块902空间分布以折叠方式或上下层方式布置。

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