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申请/专利权人：联盛半导体科技(无锡)有限公司

摘要：本实用新型公开了一种夹持架及采用该夹持架的硅片清洗花篮摆动机构，属于硅片清洗技术领域，夹持架包括架体、支撑纵杆、硅片清洗花篮抓取机构；硅片清洗花篮摆动机构包括转动纵轴、硅片清洗花篮、夹持架，转动纵轴两端上方各横向设有滑杆；各滑杆上设有可在所述滑杆上滑动的连接套；各连接套下端设有垂直于两滑杆的立板，所述两立板之间形成支撑纵杆垂直运动运动长凹槽；转动纵轴的一端与转动纵轴旋转驱动电机相连；位于前方立板的后侧面、位于后方的立板的前侧面设有限位滚轮排，转动纵轴上设有两垂直于转动纵轴的摆臂，各摆臂的远离转动纵轴端分别与支撑纵杆的两端铰接。夹持架及采用该夹持架的硅片清洗花篮摆动机构具有可水平输送，进出清洗槽快速的特点。

主权项：1.一种夹持架，其特征在于：包括架体、支撑纵杆（2）、硅片清洗花篮抓取机构；架体包括相互平行的前立板（11）、后立板（12），硅片清洗花篮抓取机构包括设置在前立板（11）、后立板（12）之间的驱动箱（31）；前立板（11）后侧面、后立板的前侧面上驱动箱（31）前、后两端各设有垂直于前立板（11）后侧面、后立板的前侧面的挡板（32）；前立板（11）、后立板（12）上驱动箱（31）下方相同高度处设有支撑纵杆安装孔（13），支撑纵杆（2）穿过两支撑纵杆安装孔（13）；支撑纵杆（2）的前端位于前立板（11）之前；支撑纵杆（2）的后端位于后立板（12）之后；驱动箱（31）的前、后端各设有驱动齿轮（33），各驱动齿轮（33）与设置在驱动箱（31）内的驱动装置相连；前立板（11）的后侧面、后立板（12）的前侧面上均设有可在其的两挡板（32）之间滑动的口字型框架（34），支撑纵杆（2）穿过所述口字型框架（34）内部；两口字型框架（34）的后内侧面或前内侧面上纵向设有第一齿条（35），所述第一齿条（35）与距其最近的驱动齿轮（33）啮合；口字型框架（34）底端垂直向设有压杆（36），压杆（36）正下方设有凸台（37）；所述硅片清洗花篮（5）的前、后两端相同高度各设有凸耳（51）；当硅片清洗花篮（5）的前、后两端的凸耳（51）分别放置在一凸台（37）时，所述凸耳（51）可被所述凸台（37）正上方的压杆（36）压紧，从而实现对所述硅片清洗花篮（5）的夹持。

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