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申请/专利权人：环晟光伏(江苏)有限公司
摘要：本发明提供了一种用于PECVD镀膜的石墨舟组及太阳能电池，涉及光伏电池技术领域。所述石墨舟组包括第一石墨舟和第二石墨舟；其中，所述第一石墨舟上设置若干卡点用于固定基片的一面；所述第二石墨舟上设置若干卡点用于固定基片的另一面；所述第一石墨舟上的若干卡点与第二石墨舟上的若干卡点错位设置。本申请通过上述石墨舟的设置将原先电池正背面两次镀膜使用相同的石墨舟改为正背两面使用不同石墨舟，使正背两次镀膜的卡点位置没有机会在硅片的侧立面上重合于同一点，进而可以使PECVD镀膜过程中“卡点印”处的绝缘膜层增厚，从而缓解了后续电镀工艺在“卡点印”处漏电导致的太阳能电池质量问题。
主权项：1.一种用于PECVD镀膜的石墨舟组，其特征在于，所述石墨舟组包括：第一石墨舟和第二石墨舟；所述第一石墨舟上设置若干卡点，用于固定基片的一面；所述第二石墨舟上设置若干卡点，用于固定基片的另一面；所述第一石墨舟上的若干卡点与第二石墨舟上的若干卡点错位设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 环晟光伏(江苏)有限公司 用于PECVD镀膜的石墨舟组及太阳能电池
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