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申请/专利权人：德鸿半导体设备(浙江)有限公司
摘要：本发明公开了一种承载光伏PECVD设备用的基片托盘，包括矩形的边框以及可替换的兜底薄片，边框上阵列设有至少一个矩形状的薄板孔用于安装兜底薄片，兜底薄片上阵列设有若干镂空孔，薄板孔的外缘壁上设有一圈插槽，插槽上方的厚度小于插槽下方的厚度，兜底薄片的两侧边分别插入两侧对应的插槽内，插槽内插入兜底薄片后在水平方向上还留有余量空间，薄板孔的任意一个拐角处均设有从上端向下连通插槽的缓释口，薄板孔一端的两侧具有从上端向下连通插槽的插口，插口位于薄片孔的顶角处可以通过更换不同规格兜底式薄片，调整基片上下方的电场强度、传热效率、气流走势等参数；制作工艺简单，成本低，抽屉式设计可共用铝质边框，进行快速便捷的替换作业。
主权项：1.一种承载光伏PECVD设备用的基片托盘，其特征在于，包括矩形的边框1以及可替换的兜底薄片，所述边框1上阵列设有至少一个矩形状的薄板孔2，所述薄板孔2内用于可拆卸安装兜底薄片，所述薄板孔2的外缘壁上设有一圈插槽3，所述插槽3上方的厚度小于插槽3下方的厚度，所述兜底薄片的两侧边分别插入两侧对应的插槽3内，所述插槽3内插入兜底薄片后在水平方向上还留有余量空间，所述薄板孔2的任意一个拐角处均设有从上端向下连通插槽3的缓释口6，所述薄板孔2一端的两侧具有从上端向下连通插槽3的插口5，所述插口5位于薄片孔的顶角处。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 德鸿半导体设备(浙江)有限公司 一种承载光伏PECVD设备用的基片托盘
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