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申请/专利权人：江苏亚盛金属制品有限公司
摘要：本发明专利公开了一种拉丝工件用非真空PECVD镀膜的输送设备，涉及拉丝工件生产设备领域，包括内部用于对工件进行镀膜的反应室和连通设置于反应室前侧的除尘室，所述除尘室内设置有除尘系统和两个用于运输挂架且上下对称设置于除尘室内的夹持输送系统，所述除尘系统包括两个左右对称设置于除尘室内的除尘气体输送管网阵列，所述除尘气体输送管网阵列上均匀的设置有喷口，所述除尘气体输送管网阵列的输入端贯穿除尘室，并与外部增压气体供应单元连接，所述除尘室的顶端对称设置有两个抽气泵，所述抽气泵的输出端与除尘室的内壁连通，所述除尘室两侧的外壁上设置有通气孔，所述通气孔上设置有过滤网，所述除尘室远离反应室的一端铰接设置有密封门。
主权项：1.一种拉丝工件用非真空PECVD镀膜的输送设备，其特征在于，包括内部用于对工件进行镀膜的反应室1和连通设置于反应室1前侧的除尘室2，所述除尘室2内设置有除尘系统和两个用于运输挂架且上下对称设置于除尘室2内的夹持输送系统，所述除尘系统包括两个左右对称设置于除尘室2内的除尘气体输送管网阵列21，所述除尘气体输送管网阵列21上均匀的设置有喷口22，所述除尘气体输送管网阵列21的输入端贯穿除尘室2，并与外部增压气体供应单元连接，所述除尘室2的顶端对称设置有两个抽气泵23，所述抽气泵23的输出端与除尘室2的内壁连通，所述除尘室2两侧的外壁上设置有通气孔24，所述通气孔24上设置有过滤网25，所述除尘室2远离反应室1的一端铰接设置有密封门26。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏亚盛金属制品有限公司 一种拉丝工件用非真空PECVD镀膜的输送设备
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