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申请/专利权人：山东大学
摘要：本申请公开了一种片上集成的多频激光系统，涵盖热沉、衬底、绝缘层以及波导层，波导层包含增益区和倍频区，系由深紫外光刻工艺制备而成的带有微结构的晶体波导。本发明所提出的这种片上集成的多频激光系统具有体积小、稳定性与可靠性高、抗干扰能力强、损耗低、易于大规模低成本生产封装的特点，能够达成高质量、高泵浦利用率的多频激光输出。
主权项：1.一种片上集成的多频激光系统，包括热沉、衬底、绝缘层和波导层，所述波导层包括增益区和倍频区，所述热沉由金属、陶瓷、金刚石、石墨、碳化硅（SiC）、氮化硅（Si3N4）、砷化镓（GaAs）等高热导率材料中的一种或几种制成，所述衬底由硅（Si）、锗（Ge）、砷化镓（GaAs）、氮化镓（GaN）、磷化铟（InP）、碳化硅（SiC）、蓝宝石等材料中的一种或几种制成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 一种片上集成的多频激光系统
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