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申请/专利权人：尼得科仪器株式会社
摘要：一种机器人，在高温的处理装置的内部交接玻璃基板的情况下，检测手上有无玻璃基板的检测传感器能够抑制热影响所导致的损伤。机器人100具有：手3，其载置基板W；臂4，其在前端侧以能够转动的方式连接手3，且在水平方向上伸缩；主体部5，其具备以能够转动的方式连接臂的基端侧的臂支撑部51；以及检测机构6，其设置于臂支撑部，检测手上是否载置有基板W。检测机构6具备：向上下方向的一侧发光的发光部；接收来自上下方向的一侧的光的受光部；以及配置在发光部的一侧的遮蔽板。检测机构6通过受光部接收来自发光部的光被基板W反射后的反射光，从而检测基板W的存在。
主权项：1.一种机器人，搬运平板状的工件，其特征在于，具有：手，该手载置所述工件；臂，所述手以能够转动的方式连接于该臂的前端侧，并且该臂在水平方向上伸缩；主体部，该主体部具备以能够转动的方式连接所述臂的基端侧的臂支撑部；检测机构，该检测机构设置于所述臂支撑部，并检测所述工件是否载置于所述手；以及控制部，该控制部控制所述臂，使所述手移动到检测所述工件的有无的检测位置，所述检测机构具备：发光部，该发光部向上下方向的一侧发出光；受光部，该受光部接收来自上下方向的一侧的光；以及遮蔽板，该遮蔽板配置于所述发光部的所述一侧，在所述手移动到所述检测位置时所述工件载置于所述手的情况下，所述工件在上下方向上位于所述发光部与所述遮蔽板之间，所述检测机构通过所述受光部接收来自所述发光部的光被所述工件反射的反射光，从而检测所述工件的存在。
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