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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：一种基板输送装置及具备基板输送装置的基板处理装置，在通过向四边形的基板喷出液体和或气体的工序输送基板时，抑制基板的损伤。基板输送装置用于输送四边形的基板，具有：多个第一输送辊，该多个第一输送辊构成为支承基板的下表面；多个第一辊轴，在各第一辊轴安装有至少三个第一输送辊；马达，该马达用于使所述第一辊轴旋转；多个第二输送辊，该多个第二输送辊构成为仅在所述基板的宽度方向的中央部支承所述基板的上表面；多个第二辊轴，在各第二辊轴安装有构成为仅支承所述基板的宽度方向的中央部的一个第二输送辊；以及多个导向辊，该多个导向辊与所述基板的两侧面相对地引导所述基板的输送。
主权项：1.一种基板输送装置，用于输送四边形的基板，其特征在于，具备：多个第一输送辊，该多个第一输送辊构成为支承基板的下表面；多个第一辊轴，在各第一辊轴安装有至少三个第一输送辊，该至少三个第一输送辊至少支承所述基板的与输送方向正交的所述基板的宽度方向的两端部和中央部；马达，该马达用于使所述第一辊轴旋转；多个第二输送辊，该多个第二输送辊构成为仅在所述基板的宽度方向的中央部支承所述基板的上表面；多个第二辊轴，在各第二辊轴安装有构成为仅支承所述基板的宽度方向的中央部的一个第二输送辊；以及多个导向辊，该多个导向辊与所述基板的两侧面相对地引导所述基板的输送。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 基板输送装置及具备基板输送装置的基板处理装置
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