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申请/专利权人：华兴源创(成都)科技有限公司
摘要：本申请涉及一种基板吸附装置，包括支撑组件、吸附机构和下压机构，其中支撑组件具有用于承载基板的支撑面；吸附机构包括多个吸嘴，至少部分吸嘴能够沿竖直方向上升以吸附基板，或能够沿竖直方向下降，在基板为不规则翘曲形状时，拉动基板的至少部分表面贴合于支撑面；下压机构间隔地设于支撑组件在竖直方向的上侧，并在一沿竖直方向延伸的轴线所定义的周向上具有压板，当基板为翘曲形状且基板的至少部分表面贴合于支撑面时，压板能够沿竖直方向下降并压住基板的四周边缘，从而在基板上的芯片不能受压的前提下，能够使任意翘曲形状的基板能够在支撑面上被展平并被所有吸嘴所吸附，解决了现有的基板吸附装置难以吸附任意翘曲形状的基板的问题。
主权项：1.一种基板吸附装置，其特征在于，包括:支撑组件100，具有用于承载基板的支撑面101；吸附机构200，包括多个间隔分布的吸嘴210，至少部分所述吸嘴210能够沿竖直方向上升，以吸附所述基板；或能够沿所述竖直方向下降，以在所述基板为翘曲形状时，拉动所述基板的至少部分表面贴合于所述支撑面101；下压机构300，间隔地设于所述支撑组件100在所述竖直方向的上侧，所述下压机构300在一沿所述竖直方向延伸的轴线20所定义的周向上具有压板330，当所述基板为翘曲形状且所述基板的至少部分表面贴合于所述支撑面101时，所述压板330能够沿所述竖直方向下降并压住所述基板的四周边缘，以使得所述基板在所述支撑面101上被展平并被所有所述吸嘴210所吸附。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华兴源创(成都)科技有限公司 基板吸附装置
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