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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种基板拍摄装置。抑制设备事故且谋求基板拍摄装置的小型化和低成本化。检查单元U3包括：保持台，其构成为保持晶圆W而使晶圆W旋转；镜构件430，其具有反射面432，该反射面432相对于保持台的旋转轴线倾斜，并且与保持到保持台的晶圆W的端面Wc和背面Wb的周缘区域Wd相对；照相机，其具有拍摄元件，来自被保持到保持台的晶圆W的表面Wa的周缘区域Wd的光、以及来自被保持到保持台的晶圆W的端面Wc的光被镜构件430的反射面432反射而成的反射光都经由镜头输入该拍摄元件。
主权项：1.一种照明模块，所述照明模块是配置于被保持到保持部的基板的上方的、基板拍摄装置用的照明模块，所述照明模块包括：光源，其朝向所述基板向下方照射光；凸型的圆柱透镜，其配置于所述光源的下方且朝向下方突出；以及光扩散构件，其使来自所述光源的光朝向与来自所述光源的光的光轴正交的第1方向扩散而产生扩散光，并向被保持到所述保持部的所述基板的表面照射所述扩散光，所述圆柱透镜构成为将来自所述光源的光沿着圆柱面的周向放大，其中，该照明模块还包括光散射构件，该光散射构件配置在所述光源与所述圆柱透镜之间，该光散射构件构成为将来自所述光源的光散射来产生散射光，所述圆柱透镜构成为将所述散射光沿着圆柱面的周向放大，所述光源包括多个点光源，所述多个点光源沿着与所述光源及所述圆柱透镜排列的方向交叉的方向排列成一列，所述圆柱透镜的轴沿着所述多个点光源排列的方向延伸，所述多个点光源沿着被保持到所述保持部的所述基板的径向排列成一列。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板拍摄装置
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