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申请/专利权人：包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种直拉法单晶硅棒生产的镓元素掺杂方法，具体包括以下步骤：（1）将冰冻的纯镓称量，硅料称量，混合置于小型坩埚中；（2）同一热场中多个小型坩埚放置在一起，同时熔化；（3）待熔化完成后，快速冷却结晶，生产出镓‑硅母合金；（4）将生产的镓‑硅母合金和硅料放入坩埚中同时熔化，熔化后的硅液将镓‑硅母合金中的镓元素浓度进行稀释；（5）熔化后进行直拉法单晶生长；该方法简单易行，有效解决掺镓单晶硅棒初次投料后晶体生长困难，容易产生位错的问题。
主权项：1.一种直拉法单晶硅棒生产中镓元素掺杂方法，其特征在于，具体包括以下步骤：（1）将冰冻的纯镓称量，硅料称量，混合置于小型坩埚中；步骤（1）中纯镓和硅料按重量比计，纯镓：硅料=1:1000~1:20；（2）同一热场中多个小型坩埚放置在一起，同时熔化；步骤（2）中熔化时开始持续通入氩气，氩气流量30~200slpm；（3）待熔化完成后，快速冷却结晶，生产出镓-硅母合金；（4）将生产的镓-硅母合金和硅料放入坩埚中同时熔化，熔化后的硅液将镓-硅母合金中的镓元素浓度进行稀释；镓-硅母合金和硅料按重量比计，镓-硅母合金：硅料=1:50~1:500，熔化时温度在1500~1800℃，化料时间在3~20小时；（5）熔化后进行直拉法单晶生长。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 包头美科硅能源有限公司 江苏美科太阳能科技股份有限公司 一种直拉法单晶硅棒生产的镓元素掺杂方法
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