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申请/专利权人：麦斯卓微电子(南京)有限公司
摘要：本申请公开了一种致动器、微机电结构以及电子设备。该致动器包括：框架，包括第一支撑面并且限定与第一支撑面平行延伸的收容空间；第一膜，包括压电材料层并且设置在第一支撑面上；衬垫，设置在收容空间内并且包括第二支撑面；第二膜，设置在第二支撑面上；和运动控制结构，设置在收容空间内并且连接在第一膜和第二膜之间，用于将第一膜在形变时所产生的作用力在所需的自由度上传递给第二膜，并由第二膜带动衬垫运动，使得第二支撑面相对于第一支撑面倾斜。当压电材料层产生内应力时，第一膜发生形变而产生作用力，并通过运动控制结构将作用力在所需的自由度上传递给第二膜，第二膜带动衬垫运动，从而使得第二支撑面相对于第一支撑面倾斜。
主权项：1.一种致动器，其特征在于，包括：框架，包括第一支撑面并且限定与所述第一支撑面平行延伸的收容空间；第一膜，包括压电材料层并且设置在所述第一支撑面上；衬垫，设置在所述收容空间内并且包括第二支撑面；第二膜，设置在所述第二支撑面上；和运动控制结构，设置在所述收容空间内并且连接在所述第一膜和所述第二膜之间，用于将所述第一膜在形变时所产生的作用力在所需的自由度上传递给所述第二膜，并由所述第二膜带动所述衬垫运动，使得所述第二支撑面相对于所述第一支撑面倾斜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯卓微电子(南京)有限公司 致动器、微机电结构以及电子设备
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