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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司

摘要：本发明涉及一种用于电容式传感器或开关装置的微机械构件，包括：衬底10，其具有衬底表面10a；直接或间接在衬底表面10a上撑开的隔膜12，其包括无支撑的区域14；以及至少一个杠杆元件18和至少一个连接在该至少一个杠杆元件18上的第一电极20，其中，至少一个杠杆元件18如此连接在隔膜12上，使得在隔膜12的无支撑的区域14拱曲的情况下能够使至少一个杠杆元件18处于旋转运动中，由此，至少一个连接的第一电极20能够处于相对于衬底表面10a倾斜定向的第一调节运动22中；并且其中，至少一个杠杆元件18和至少一个连接在该至少一个杠杆元件18上的第一电极20布置在衬底表面10a和隔膜12的无支撑区域14的隔膜内侧14a之间。

主权项：1.一种用于电容式传感器或开关装置的微机械构件，其包括：衬底10，该衬底具有衬底表面10a；直接或间接地在所述衬底表面10a上撑开的隔膜12，该隔膜具有无支撑区域14，所述无支撑区域具有朝所述衬底10定向的隔膜内侧14a和从衬底10离开指向的隔膜外侧14b，其中，所述隔膜12的无支撑区域14借助施加到所述隔膜外侧14b上的力是能拱曲的；和至少一个杠杆元件18和在所述至少一个杠杆元件18上连接的至少一个第一电极20，其中，所述至少一个杠杆元件18连接在所述隔膜12上，使得在所述隔膜12的无支撑区域14拱曲的情况下能够使所述至少一个杠杆元件18处于旋转运动中，由此，至少一个连接的第一电极20能够处于相对于所述衬底表面10a倾斜定向的第一调节运动22中；其中，所述至少一个杠杆元件18和在所述至少一个杠杆元件18上连接的所述至少一个第一电极20布置在所述衬底表面10a与所述隔膜12的无支撑区域14的隔膜内侧14a之间，其特征在于，至少一个第二电极34构造为跷板结构32的部分，所述跷板结构包括所述至少一个杠杆元件18和所述至少一个连接的第一电极20，或者至少一个第二电极与所述跷板结构32无关地连接在所述隔膜12的无支撑区域14的隔膜内侧14a上，使得在所述隔膜12的无支撑区域14拱曲的情况下能够使所述至少一个第一电极20处于第一调节运动22中并且能够使所述至少一个第二电极34处于第二调节运动40中，所述第一调节运动具有垂直于所述衬底表面10a定向的第一运动分量，所述第二调节运动具有垂直于所述衬底表面10a定向并相反于所述第一运动分量指向的第二运动分量。

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