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申请/专利权人：凌嘉科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种扩散板，其包含板体以及多个孔洞。板体包含矩形布孔范围，矩形布孔范围包含涵盖四角落的外围区域，外围区域的面积占比不大于矩形布孔范围的62％。前述多个孔洞分布于矩形布孔范围，且前述多个孔洞由内而外依序排列成同心的第1个至第N个矩形，第1个至第N个矩形的尺寸由第1个矩形朝第N个矩形逐渐变大，N为正整数。其中，前述多个孔洞中的一部分孔洞位于外围区域，且前述一部分孔洞的孔径大于前述多个孔洞中的其他部分孔洞的孔径。借此提升外围区域的工艺气体密度，以提升工艺气体的扩散均匀度。本发明还提供一种蚀刻设备及扩散板布孔方法。
主权项：1.一种扩散板，其特征在于，包含：一板体，包含一矩形布孔范围，该矩形布孔范围包含涵盖四角落的一外围区域，该外围区域的面积占比不大于该矩形布孔范围的62％；以及多个孔洞，分布于该矩形布孔范围，且所述多个孔洞由内而外依序排列成同心的第1个至第N个矩形，该第1个至第N个矩形的尺寸由该第1个矩形朝该第N个矩形逐渐变大，N为正整数；其中，所述多个孔洞中的一部分孔洞位于该外围区域内，且该一部分孔洞的孔径大于所述多个孔洞中的其他部分孔洞的孔径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 凌嘉科技股份有限公司 扩散板、蚀刻设备及扩散板布孔方法
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