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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明涉及一种衬底保持装置、衬底处理装置及夹盘销的位置判定方法。本发明提供一种能够以高精度判定夹盘销的位置状态的技术。衬底保持装置2具备多个夹盘销22、第1旋转磁铁33a、第1磁传感器40a、及控制部90。多个夹盘销22各自在与衬底W的周缘抵接的保持位置和与衬底W的周缘分离的打开位置之间可旋转地设置。第1旋转磁铁33a具有与多个夹盘销22中的第1夹盘销22a旋转的第1驱动轴线Q2a的径向交叉的一对磁极面。第1旋转磁铁33a固定于第1夹盘销22a而与第1夹盘销22a一体地自转。第1磁传感器40a在沿着第1驱动轴线Q2a的方向上与第1旋转磁铁33a并排的位置处，测定表示由第1旋转磁铁33a产生的磁场的方向的磁场角度。控制部90基于该磁场角度而判定第1夹盘销22a的位置状态。
主权项：1.一种衬底保持装置，具备：多个夹盘销，沿着衬底的周缘彼此隔开间隔而设置，各自在与所述衬底的所述周缘抵接的保持位置和与所述衬底的所述周缘分离的打开位置之间可旋转地设置；第1旋转磁铁，具有与所述多个夹盘销中的第1夹盘销旋转的第1驱动轴线的径向交叉的一对磁极面，且固定于所述第1夹盘销而与所述第1夹盘销一体地自转；第1磁传感器，在沿着所述第1驱动轴线的方向上与所述第1旋转磁铁并排的位置处，测定表示由所述第1旋转磁铁产生的磁场的方向的磁场角度；及控制部，基于由所述第1磁传感器测得的所述磁场角度，而判定所述第1夹盘销的位置状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 衬底保持装置、衬底处理装置及夹盘销的位置判定方法
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