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一种氮化镓传感器及其制备方法 

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申请/专利权人:南方科技大学

摘要:本发明公开了一种氮化镓传感器及其制备方法,所述氮化镓传感器包括外延结构,所述外延结构从上至下依次包括:势垒层、沟道层、缓冲层和衬底;其中,所述势垒层的上表面设置有源极和漏级;所述源极和漏级之间设置有若干个栅极;所述源极、漏级和栅极彼此平行且间隔排布,共同形成齿状结构;所述势垒层的上表面还设置有钝化层;所述源极、漏级和栅极均被所述钝化层覆盖;所述栅极的数量≥2。本发明提供了一种高性能、高可靠性、多功能的便携式氮化镓传感器系统,且易大规模集成和生产,对实现高性能、高可靠性、多功能的便携式氮化镓传感器系统具有重要意义。

主权项:1.一种氮化镓传感器,其特征在于,所述氮化镓传感器包括外延结构,所述外延结构从上至下依次包括:势垒层、沟道层、缓冲层和衬底;其中,所述势垒层的上表面设置有源极和漏级;所述源极和漏级之间设置有若干个栅极;所述源极、漏级和栅极彼此平行且间隔排布,共同形成齿状结构;所述势垒层的上表面还设置有钝化层;所述源极、漏级和栅极均被所述钝化层覆盖;所述栅极的数量≥2。

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