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一种导模法生长氧化镓单晶的模具及生长方法 

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申请/专利权人:杭州富加镓业科技有限公司

摘要:本发明公开一种导模法生长氧化镓单晶的模具及生长方法。所述模具包括镜像对称设置的多块隔板,所述多块隔板通过固定部固定在一起,相邻两块隔板之间具有狭缝;其中所述多块指的是3块以上。本发明中,模具具有呈镜像对称设置的多块隔板,且相邻两块隔板之间具有狭缝,这样得到一种具有多条狭缝的模具,氧化镓熔体可以通过多条狭缝并行上升到模具的顶部,由于表面张力大小与狭缝长度成正比,多条狭缝可以成倍提高总的表面张力,使得单位时间内通过毛细作用向上提拉的氧化镓熔体总量成倍增多,确保了厚尺寸的氧化镓单晶生长过程的持续和稳定,从而可以生长得到较厚的晶片,在厚度方向上一次可加工出的坯片数量增多,提高了生产效率。

主权项:1.一种导模法生长氧化镓单晶的模具,其特征在于,所述模具包括镜像对称设置的多块隔板,所述多块隔板通过固定部固定在一起,相邻两块隔板之间具有狭缝;其中所述多块指的是3块以上;所述多块隔板通过若干铆钉贯穿固定在一起,相邻两块隔板之间的铆钉上绕有线圈或套有环形垫片,所述线圈或环形垫片用于控制所述狭缝的宽度;任意单块隔板的厚度与任意狭缝的宽度的比值为2:1-20:1。

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权利要求:

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