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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本发明提供一种对非周期图形四色拆分的辅助着色方法，根据光刻能力分析拆分规则与图形设计规则；找出符合光刻能力的拆分规则的通解，通解覆盖所述图形设计规则允许的图形分布；将通解中的一部分规则提取出来，对图形进行预着色；写脚本使用软件对剩下未着色的图形进行拆分。本发明通过对规则的分析，可极大减少计算机运算量，将问题限制在计算机算力可及的范围内，在较短的运行时间内得到正确的拆分解。
主权项：1.一种对非周期图形四色拆分的辅助着色方法，其特征在于，至少包括：步骤一、根据光刻能力分析拆分规则与图形设计规则；步骤二、找出符合所述光刻能力的拆分规则的通解，所述通解覆盖所述图形设计规则允许的图形分布；步骤三、将所述通解中的一部分规则提取出来，对图形进行预着色；步骤四、写脚本使用软件对剩下未着色的图形进行拆分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 对非周期图形四色拆分的辅助着色方法
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