龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：迈睿捷(南京)半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及晶圆加工技术领域，公开了一种用于晶圆烘烤的高精度冷热板双工位平台设计装置，包括底板，所述底板顶端固定连接有第一电动推杆，所述第一电动推杆的活动端固定连接有第一连接板，所述同步带侧壁固定连接有移动座，所述移动座与直线导轨滑动连接，所述移动座顶端固定连接有支撑板，所述支撑板顶端固定连接有冷板。本发明中通过将热板和冷板结合到一起，在热板和冷板之间的晶圆转移通过热板内部的运动结构完成，不需要机械手的参与；最直接的效果就是降低了涂胶显影机的高度，同时使得机械手Z轴方向的行程和取放晶圆的次数减少；通过改变传统的双面导热材料设计，采用单面导热材料，单面隔热材料设计，有效地降低了能耗。
主权项：1.一种用于晶圆烘烤的高精度冷热板双工位平台设计装置，包括底板14，其特征在于：所述底板（14）顶端固定连接有第一电动推杆（4），所述第一电动推杆（4）的活动端固定连接有第一连接板（7），所述第一连接板（7）的侧壁固定连接有热板底座（5），所述底板（14）顶端对称固定连接有第二电动推杆（41），每个所述第二电动推杆（41）的活动端均固定连接有第二连接板（71），两个所述第二连接板（71）共同固定连接有盖板（1），所述底板（14）顶端固定连接有第三电动推杆（42），所述第三电动推杆（42）的活动端固定连接有第三连接板（72），所述第三连接板（72）的侧壁固定连接有冷板3pin（9），所述底板（14）顶端固定连接有直线导轨（11），所述底板（14）顶端固定连接有电机（10），所述底板（14）顶端对称固定连接有第一固定板（102），每个所述第一固定板（102）侧壁均贯穿转动连接有转轴（101），所述转轴（101）侧壁固定连接有同步轮（103），两个所述同步轮（103）通过同步带（104）连接，其中一个所述转轴（101）与电机（10）的输出端固定连接，所述同步带（104）侧壁固定连接有移动座（105），所述移动座（105）与直线导轨（11）滑动连接，所述移动座（105）顶端固定连接有支撑板（106），所述支撑板（106）顶端固定连接有冷板（3）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 迈睿捷(南京)半导体科技有限公司 一种用于晶圆烘烤的高精度冷热板双工位平台设计装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号