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申请/专利权人：西安交通大学
摘要：本发明公开了一种基于石墨烯铁硫化物异质结的过氧化氢传感器制备方法，通过化学气相沉积法，以蓝宝石为基底制备石墨烯，采用金属薄膜硫化法制备石墨烯铁硫化物的二维异质结构，该异质结构作为自支撑传感电极，通过光刻、等离子体刻蚀等工艺直接实现传感器件的制备。本发明传感器对过氧化氢检测具备响应迅速、灵敏度高、检测限宽、稳定性好、选择性佳等优点，并且该传感器具有很好的工艺可控性和重复性，适合于批量化生产。
主权项：1.一种基于石墨烯铁硫化物异质结的过氧化氢传感器制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，蓝宝石基底石墨烯的制备：以蓝宝石为基底，甲烷为前驱体，氢气和氩气为载气，在管式炉中通过低压高温化学气相沉积法制备得到蓝宝石基底石墨烯；步骤二，蓝宝石基底石墨烯铁硫化物异质结构的制备：将铁粉作为靶材，通过电子束蒸镀在蓝宝石基底石墨烯表面沉积铁薄膜；将铁蓝宝石基底石墨烯异质结构置于管式炉中，以硫粉为硫化前驱体，制备得到蓝宝石基底石墨烯铁硫化物异质结构；步骤三，基于石墨烯铁硫化物异质结的过氧化氢电化学传感器的制备：采用三电极电化学体系，以钨针作为对电极、AgAgCl为参考电极，将石墨烯铁硫化物异质结作为电化学传感器的独立自支撑工作电极，在石墨烯铁硫化物异质结表面通过电子束光刻、等离子体刻蚀得到图案化传感材料作为注入待测液的工作区域，再通过电子束蒸镀沉积金电极和原子层沉积二氧化硅介质层，作为传感器工作电极接口与电化学工作站连接；采用模板法制备聚二甲基硅氧烷作为待测液的微流道腔体，得到过氧化氢电化学传感器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 基于石墨烯/铁硫化物异质结的过氧化氢传感器制备方法
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