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申请/专利权人：深圳大学
摘要：本实用新型公开了一种双模态三维显微成像系统，该显微成像系统，一方面通过将激光发生装置产生的部分泵浦光聚焦到样品表面，以生成烧蚀结构，另一方面，将激光发生装置产生的另一部分泵浦光作经过光程调节后分成一束探测光和一束参考光，探测光接收探测光和参考光发生干涉后产生的包含样品表面形貌信息的干涉图像。本实施例所公开的显微成像系统，可以获取到不同时刻下的样品表面烧蚀结构的干涉图像，克服了仅对表面反射率成像面临的信息获取不足的问题，并且样品表面烧蚀结构的干涉图像具有更全的烧蚀过程信息，因此可以实现对超快动态过程的更准确控制，提高控制准确精度。
主权项：1.一种双模态三维显微成像系统，其特征在于，包括：激光发生装置，用于产生混合有不同波长倍数的泵浦光；第一分光元件，设置在所述泵浦光的光路上，用于根据不同的波长倍数将所述泵浦光分成第一泵浦光和第一探测光；延迟线及控制装置，设置在所述第一探测光或者第一泵浦光的光路上，用于调控第一探测光与第一泵浦光之间的光程差；第二分光元件，设置在第一探测光的光路上，用于将所述第一探测光分为第二探测光和参考光；第一物镜，设置在第一泵浦光和第二探测光的光路上，用于将第一泵浦光和第二探测光聚焦于样品表面，样品表面在第一泵浦光的聚焦下产生烧蚀结构，烧蚀结构表面对所述第二探测光进行反射后，得到带有烧蚀表面信息的第三探测光；第二物镜，设置在参考光的光路上，用于对参考光汇聚处理，以使得参考光与第三探测光的光程和色散匹配；图像接收元件，设置在第三探测光和参考光的光路上，用于接收第三探测光和参考光发生干涉后产生的包含烧蚀表面信息的干涉图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳大学 一种双模态三维显微成像系统
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