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申请/专利权人：成都英杰晨晖科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种集成功放模块、射频电源及等离子刻蚀机，包括第一PCB板、至少两个功率组件和变压器，所述功率组件设置在所述第一PCB板上，功率组件包括第一输入端口、电感、H桥单元，第一输入端口与所述H桥单元的一端连接，H桥单元的另一端经过电感连接至所述变压器；两个功率组件中的所述第一输入端口、电感和H桥单元围绕所述变压器布设且两个功率组件设置在变压器的两侧。将各个元件沿变压器的外周环绕设置并将功率组件设置在变压器两侧，且将两侧的功率组件并联，进一步提升模块功率密度，另外也可采用分层设置的多块电路板，将驱动电路和功率电路分别安装在不同高度的电路板上，可进一步减小模块平面尺寸，提升空间利用率。
主权项：1.一种集成功放模块，其特征在于，包括第一PCB板（14）、变压器（8）、至少两个并联的功率组件，所述功率组件设置在所述第一PCB板（14）上，所述功率组件包括第一输入端口（1）、电感（6）、H桥单元（5），所述第一输入端口（1）与所述H桥单元（5）的一端连接，所述H桥单元（5）的另一端经过所述电感（6）连接至所述变压器（8）；其中两个功率组件设置在所述变压器（8）的两侧。
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