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申请/专利权人：苏州祯源电气科技有限公司
摘要：本发明公开了一种中频等离子电源控制系统，本发明涉及等离子电源控制技术领域。包括控制单元、光纤收发模块、有源并网整流单元、全数字式全桥LLC单元、中频三电平H型逆变桥、FPGA监测模块、云服务器和等离子电源。该中频等离子电源控制系统，通过采用FPGA监测模块监测输入电流和输出功率，使得输出功率的误差范围在可允许的范围内并且降低了对于等离子体负载功率检测的成本，能够判断负载是否处在正常的工作状态，通过RBF‑PI的自适应控制方式控制等离子电源的开关管的占空比，达到对于负载变化的自适应，保证了系统的安全性及有效性。
主权项：1.一种中频等离子电源控制系统，其特征在于，包括：控制单元，由控制器、功率控制模块及声光报警器组成；光纤收发模块，由接收端、发送端和通讯接口组成；有源并网整流单元，包括依次连接的共模电感滤波器、EMC电路、霍尔传感器、电感器、有源并网型整流器；全数字式全桥LLC单元，包括依次连接的全数字式全桥LLC谐振变换器、二极管全桥整流器、滤波电容、电压互感器；中频三电平H型逆变桥，包括左右两个桥臂，左边桥臂为超前桥臂，右边桥臂为滞后桥臂，每个桥臂由四个MOSFET开关管和两个电感组合而成；FPGA监测模块，分别与等离子电源、有源并网整流单元、全数字式全桥LLC单元和中频变压器电连接；云服务器，用于储存和调用上传的历史数据。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州祯源电气科技有限公司 一种中频等离子电源控制系统
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