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申请/专利权人：深圳市先行设备科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种微波等离子冷水台升降结构，包括内部真空的等离子体腔，等离子体腔底部设置有冷水台升降机构，冷水台升降机构由相互配合的外冷水套组件与内冷水台组件构成，冷水台组件顶部设置有用于等离子体生长的沉积基片，沉积基片置于等离子体腔内部，本实用新型通过外冷水套组件与内冷水台组件的配合调节，从而改变沉积基片位于等离子体腔内的位置，来最大化地吸收微波，同时保证等离子体生长时维持沉积基片与等离子体的相对位置。
主权项：1.一种微波等离子冷水台升降结构，包括内部真空的等离子体腔（1），其特征在于：所述等离子体腔（1）底部设置有冷水台升降机构（2），所述冷水台升降机构（2）由相互配合的外冷水套组件（201）与内冷水台组件（202）构成，所述冷水台组件（202）顶部设置有用于等离子体生长的沉积基片（3），所述沉积基片（3）置于所述等离子体腔（1）内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市先行设备科技有限公司 一种微波等离子冷水台升降结构
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