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申请/专利权人：东莞市晟鼎精密仪器有限公司

摘要：一种具备高可靠传输的远程等离子装置及远程等离子设备，涉及等离子设备技术领域，包括等离子发生器、工艺腔体以及连通等离子发生器和工艺腔体之间的连通机构，连通机构，包括陶瓷护套、内胆、外圈和盖板，内胆包括安装部和柱体部，陶瓷护套安装于安装腔中；外圈一端设于安装部上，柱体部外壁与所述外圈内壁之间形成过水空间，所述外圈上设于进水口和出水口。本等离子装置通过将连通机构设计双层结构内胆+外圈，并且内胆和外圈之间做好水冷分流及加大水冷接触面积的结构设计，使得水流在一定尺寸的连通机构上做到最大面积运行，增加散热面积，提升产品的使用寿命。内部增加的陶瓷护套，作为等离子气体直接接触面，解决含氟气体的腐蚀问题。

主权项：1.一种具备高可靠传输的远程等离子装置，包括等离子发生器、工艺腔体以及连通等离子发生器和工艺腔体之间的连通机构，其特征在于：所述连通机构，包括陶瓷护套、内胆、外圈和盖板，所述内胆包括一体成型连接的安装部和柱体部，所述安装部与等离子发生器安装，所述安装部和柱体部贯穿有安装腔；所述陶瓷护套安装于安装腔中，所述陶瓷护套外壁与安装腔内壁紧贴，且陶瓷护套贯通有连通等离子发生器和工艺腔体的气流通道；所述外圈一端设于所述安装部上，并套设于所述柱体部外，所述柱体部外壁与所述外圈内壁之间形成过水空间，所述外圈上设于进水口和出水口；所述盖板封盖所述外圈另一端，并与所述工艺腔体安装；所述陶瓷护套靠近所述等离子发生器端为径缩部，所述径缩部的外壁与所述安装腔内壁之间形成真空计连接腔，所述真空计连接腔连通有真空计；所述等离子发生器的出气口末端设有缓冲口，所述缓冲口的横截面积大于所述出气口和所述气流通道的横截面积，所述出气口通过所述缓冲口的中间区域形成对流，所述真空计连接腔与所述缓冲口的边缘正对连通；所述外圈内壁上分别间隔设有第一凸条、第二凸条和第三凸条，所述第一凸条、第二凸条和第三凸条的侧壁均抵于柱体部外壁，所述第一凸条沿外圈的长度方向延伸并延伸至所述外圈的两端，所述第二凸条和第三凸条的长度均小于第一凸条的长度；所述第一凸条和所述第二凸条将所述过水空间分隔成进水区，所述进水口连通所述进水区；所述第二凸条和第三凸条将所述过水空间分隔成过水区，所述过水区连通进水区和出水区之间；所述第三凸条和所述第一凸条将所述过水空间分隔成出水区，所述出水口连通出水区；第二凸条的下端形成连通过水区和进水区的第一过水口；第三凸条的上端形成连通过水区和出水区的第二过水口，水流于所述进水区、过水区和出水区之间进行上下绕流。

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