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申请/专利权人：协伟集成电路设备(上海)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种能隔绝楼板三向高频振动的隔振平台，包括水平设置的平台主体，在所述平台主体的四角和两长边的中部分别对称设有竖直向弹簧隔振机构，在平台主体的两长边的侧面和两短边的侧面分别对称设有水平向弹簧隔振机构，所述的竖直向弹簧隔振机构和水平向弹簧隔振机构的底部均与楼板固定连接。本实用新型提供的隔振平台，在用于承载精密设备的同时，能有效隔绝由楼板传递的三向高频振动，具有很好的减振、隔振作用，可为精密设备提供更好的运行环境，能满足半导体行业的无尘室内精密设备的支撑固定和防微振要求，实用价值显著。
主权项：1.一种能隔绝楼板三向高频振动的隔振平台，其特征在于：包括水平设置的平台主体，在所述平台主体的四角和两长边的中部分别对称设有竖直向弹簧隔振机构，在平台主体的两长边的侧面和两短边的侧面分别对称设有水平向弹簧隔振机构，所述的竖直向弹簧隔振机构和水平向弹簧隔振机构的底部均与楼板固定连接。
全文数据：
权利要求：
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