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光学显微镜 

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申请/专利权人:东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司

摘要:本申请公开了一种光学显微镜,包括架体、第一筒镜、第一镜体、第一物镜、第二物镜和光通断元件;所述第一物镜的倍率大于所述第二物镜的倍率;所述第一筒镜与所述第一物镜之间设有第一观察路径,所述第一筒镜与所述第二物镜之间设有第二观察路径;所述第一镜体位于所述第一观察路径和所述第二观察路径的交汇点,用于透射形成所述第一观察路径和反射形成所述第二观察路径;所述光通断元件用于选择性使所述第一观察路径和所述第二观察路径中的一者可成像。根据本申请实施例,光学显微镜在需要调节倍率时,无需对物镜进行切换,通过光通断元件遮挡第一物镜或第二物镜即可实现倍率调节,从而减小切换倍率时带来的污染。

主权项:1.一种光学显微镜,其特征在于,包括:架体、第一筒镜、第一镜体、第一物镜、第二物镜和光通断元件;所述第一筒镜、所述第一镜体、所述第一物镜和所述第二物镜均安装在所述架体上,所述第一物镜的倍率大于所述第二物镜的倍率;所述第一筒镜与所述第一物镜之间设有第一观察路径,所述第一筒镜与所述第二物镜之间设有第二观察路径;所述第一镜体位于所述第一观察路径和所述第二观察路径的交汇点,用于透射形成所述第一观察路径和反射形成所述第二观察路径;所述光通断元件用于选择性使所述第一观察路径和所述第二观察路径中的一者可成像。

全文数据:

权利要求:

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