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申请/专利权人：江苏协鑫特种材料科技有限公司

摘要：本发明公开了一种硅部件的晶圆清洗方法，涉及晶圆清洗领域，包括：构建参数训练数据库；获取晶圆氮化硅层加工参数，记为晶圆氮化硅层实时加工参数；根据晶圆氮化硅层实时加工参数从参数训练数据库中调取若干个参数训练数据集合；从参数训练数据集合筛选出若干个优化训练数据；根据优化训练数据进行计算获取氮化硅层清洗参数；按照氮化硅层清洗参数进行氮化硅层清洗工艺；更新参数训练数据库，采用更新后的参数训练数据库计算氮化硅层清洗参数。本发明的优点在于：结合晶圆清洗工艺加工数据进行智能化分析，可在氮化硅层加工完成后进行自动设定最优化的晶圆清洗工艺加工参数值，可以有效的保证晶圆的清洗质量，提高晶圆的后续加工良率。

主权项：1.一种硅部件的晶圆清洗方法，其特征在于，包括：构建参数训练数据库，所述参数训练数据库用于存储晶圆氮化硅层的晶圆氮化硅层历史加工参数和历史清洗数据；获取晶圆氮化硅层加工参数，记为晶圆氮化硅层实时加工参数，所述晶圆氮化硅层加工参数至少包括沉积工艺参数和退火工艺参数；根据晶圆氮化硅层实时加工参数从参数训练数据库中调取若干个参数训练数据集合；从参数训练数据集合筛选出若干个优化训练数据；根据优化训练数据进行计算获取氮化硅层清洗参数；按照氮化硅层清洗参数进行氮化硅层清洗工艺；获取当前氮化硅层清洗工艺下的清洗加工数据，并将当前氮化硅层清洗工艺下的清洗加工数据加入参数训练数据库，得到更新后的参数训练数据库；在进行新的氮化硅层清洗时，采用更新后的参数训练数据库计算氮化硅层清洗参数；所述根据晶圆氮化硅层实时加工参数从参数训练数据库中调取若干个参数训练数据集合具体包括：通过加工类似度计算公式，分别计算晶圆氮化硅层实时加工参数与每一个晶圆氮化硅层历史加工参数之间的类似度；筛选出若干个类似度小于预设值的晶圆氮化硅层历史加工参数，记为晶圆氮化硅层拟合加工参数；将晶圆氮化硅层拟合加工参数对应的历史清洗数据作为参数训练数据集合；所述加工类似度计算公式具体为： 式中，La为晶圆氮化硅层实时加工参数与第a个晶圆氮化硅层历史加工参数之间的类似度，xi0为晶圆氮化硅层实时加工参数中的第i个沉积工艺参数值，xia为第a个晶圆氮化硅层历史加工参数中的第i个沉积工艺参数值，n为沉积工艺参数总数，yj0为晶圆氮化硅层实时加工参数中的第j个退火工艺参数值，yja为第a个晶圆氮化硅层历史加工参数中的第j个退火工艺参数值，m为退火工艺参数总数。

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