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申请/专利权人：阿博索伯(苏州)自动化设备科技有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆片传送技术领域，尤其涉及一种晶圆传送装置，包括导轨、滚轮、连接杆、运输壳、气缸一、滑动板和电机，运输壳与连接杆固定连接，并位于连接杆的上方，气缸一与运输壳拆卸连接，并位于运输壳的内部，滑动板与气缸一拆卸连接，并位于气缸一的上方，电机与滑动板拆卸连接，并位于滑动板的上方，当运输晶圆时，启动所述气缸一将所述插杆一与所述插杆二上的晶圆抬起，启动所述电机带动晶圆转动至合适角度，通过滚轮在导轨上移动将晶圆运输至检测处，启动所述气缸二将晶圆推出放置在检测仪器上，解决了通过转动机械臂运输晶圆的自由度过低，导致无法精确的将晶圆放置于检测处的问题。
主权项：1.一种晶圆传送装置，包括导轨、滚轮和连接杆，所述导轨与所述滚轮转动连接，并位于所述滚轮的下方，所述连接杆与所述滚轮转动连接，并位于所述滚轮的一侧，其特征在于，还包括上升组件，所述上升组件包括运输壳、气缸一、滑动板、电机和转动部件，所述运输壳与所述连接杆固定连接，并位于所述连接杆的上方，所述气缸一与所述运输壳拆卸连接，并位于所述运输壳的内部，所述滑动板与所述气缸一拆卸连接，并位于所述气缸一的上方，所述电机与所述滑动板拆卸连接，并位于所述滑动板的上方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 阿博索伯(苏州)自动化设备科技有限公司 一种晶圆传送装置
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