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申请/专利权人：上海合晶硅材料股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种碳化硅衬底的双面磨削装置，包括加工台，所述加工台上分别安装有可竖向夹持碳化硅衬底的夹持机构和两组对称设置的打磨机构，本实用新型夹持机构中设置了四个竖向分布的限位轮，实现待加工碳化硅衬底的竖向定位，在磨削时，加工产生的碎屑直接向下掉落，不会滞留在碳化硅衬底表面，解决了碎屑会进入磨削头与碳化硅衬底之间，损伤已磨削好的部位，降低了良品率的问题；由于限位轮侧边上的卡槽设为截面为三角形的卡槽，可将碳化硅衬底定位的更加牢固，磨削过程中碳化硅衬底不会发生震荡，且适用于不同厚度和不同尺寸的碳化硅衬底夹持定位，并且只需要一个电机即可驱动碳化硅衬底旋转，减少了设备成本。
主权项：1.一种碳化硅衬底的双面磨削装置，包括加工台1，其特征在于：所述加工台1上分别安装有可竖向夹持碳化硅衬底的夹持机构2和两组对称设置的打磨机构4，所述夹持机构2上安装有驱动碳化硅衬底转动的旋转机构3，所述夹持机构2包括两组相向移动的立板21，所述立板21的一侧安装有两组上下分布的安装架22，所述安装架22的内部转动安装有限位轮23，所述限位轮23的侧边开设有用于定位碳化硅衬底、截面为三角形的卡槽；所述加工台1上开设有第二凹槽8，所述第二凹槽8的内部安装有第二气缸9，所述打磨机构4包括连接在第二气缸9一端的第一支撑座41，所述第一支撑座41的上端安装有可升降的第二支撑座44，所述第二支撑座44的顶部安装有L型板45，所述L型板45的一侧安装有第二电机46，所述第二电机46的输出轴一端连接有打磨盘47。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海合晶硅材料股份有限公司 一种碳化硅衬底的双面磨削装置
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