龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：索泰克公司
摘要：本发明涉及一种用于射频应用的绝缘体上半导体衬底1，其包括：‑硅载体衬底2，‑布置在所述载体衬底上的电绝缘层3，‑布置在所述电绝缘层上的单晶层4，所述衬底1的主要特征在于，其还包括布置在所述载体衬底2和所述电绝缘层3之间的碳化硅SiC层5，该层的厚度为1nm至5nm，所述碳化硅SiC层的在所述电绝缘层3一侧的表面6是粗糙的。
主权项：1.一种用于射频应用的绝缘体上半导体衬底1，其包括：-硅载体衬底2，-布置在所述载体衬底上的电绝缘层3，-布置在所述电绝缘层上的单晶层4，所述衬底1的特征在于，其还包括布置在所述载体衬底2和所述电绝缘层3之间的碳化硅SiC层5，该层的厚度为1nm至5nm，所述碳化硅SiC层的在所述电绝缘层3一侧的表面6的粗糙度高于或等于10nmRMS。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 索泰克公司 用于射频应用的绝缘体上半导体衬底
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号