龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：物元半导体技术(青岛)有限公司
摘要：本发明涉及一种半导体制造方法及半导体结构，其中，该半导体制造方法至少包括以下步骤：提供一半导体衬底；在半导体衬底需要进行隔离的一侧的表面形成氧化物层；执行离子注入工艺，向氧化物层和半导体衬底中掺杂杂质；在掺杂了杂质后的氧化物层之上形成氮化物层；移除需要进行隔离的区域中的氮化物层和氧化物层，形成延伸至半导体衬底表面的打开区域；通过炉管热氧化工艺在打开区域中生长隔离部，获得局部硅氧化结构。通过注入杂质，对硅的热氧化速率进行调整，可调整鸟嘴结构的形态，从而获得期望形态的鸟嘴结构。
主权项：1.一种半导体制造方法，其特征在于，至少包括以下步骤：提供一半导体衬底；在所述半导体衬底需要进行隔离的一侧的表面形成氧化物层；执行离子注入工艺，向所述氧化物层和所述半导体衬底中掺杂杂质；在掺杂了杂质后的所述氧化物层之上形成氮化物层；移除需要进行隔离的区域中的所述氮化物层和所述氧化物层，形成延伸至所述半导体衬底表面的打开区域；通过炉管热氧化工艺在所述打开区域中生长隔离部，获得局部硅氧化结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 物元半导体技术(青岛)有限公司 半导体制造方法及半导体结构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号