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申请/专利权人：浙江求是创芯半导体设备有限公司
摘要：本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了冷却装置、半导体反应模块及半导体设备，冷却装置包括设于机柜内的冷却组件和检测组件，冷却组件包括冷却通道以及设于冷却通道内的风机和至少一个冷却器，沿空气流动方向，冷却器设于风机的进风端和或出风端；检测组件包括压力传感器和至少一个温度传感器，压力传感器检测风机的进风气流压力，至少一个温度传感器用于检测风机的第一出风温度和或冷却通道的第二出风温度；冷却器冷媒流量可调以使第一出风温度等于第一设定温度，和或第二出风温度等于第二设定温度。本实用新型的冷却装置能够维持半导体反应模块内的灯组及反应腔外围环境的温度保持恒定，缩短半导体设备的单片时间，提高生产效率。
主权项：1.冷却装置，用于半导体反应模块，所述半导体反应模块包括机柜1，所述机柜1内设置有反应腔2及灯组3，所述灯组3用于加热所述反应腔2，其特征在于，所述冷却装置包括设置于所述机柜1内的冷却组件4和检测组件5，所述冷却组件4用于冷却所述反应腔2，所述冷却组件4包括冷却通道41以及设置于所述冷却通道41内的风机42和至少一个冷却器43，沿空气流动方向，所述冷却器43设置于所述风机42的进风端和或出风端；所述检测组件5包括压力传感器51和至少一个温度传感器52，所述压力传感器51用于检测所述风机42的进风气流压力，至少一个所述温度传感器52用于检测所述风机42的第一出风温度和或所述冷却通道41的第二出风温度；所述冷却器43的冷媒流量可调以使所述第一出风温度等于第一设定温度，和或所述第二出风温度等于第二设定温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江求是创芯半导体设备有限公司 冷却装置、半导体反应模块及半导体设备
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