买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:华天科技(昆山)电子有限公司
摘要:本发明公开了一种高结合力铜凸点结构及其制备方法,该制备方法包括以下步骤:在裸硅正面进行刻蚀挖槽,再在槽中埋入相适配的芯片;在裸硅正面进行TSV通孔的刻蚀及电镀;在TSV通孔上进行RDL重布线层的制作;将得到的半成品与玻璃键合;对裸硅背面进行减薄,并制备光阻图形,露出光阻开口;在光阻开口处进行硅刻蚀形成凹坑,露出正面TSV通孔的底部;在刻蚀后的凹坑处沉积绝缘层,再电镀或填充导电聚合物,形成槽内凸点,再去除表面的光阻图形;拆除玻璃,并对槽内凸点两侧的硅进行刻蚀,露出槽内凸点和芯片背部,并在芯片背部贴上散热片。本发明能够改善凸点均一性及提高凸点与基底的结合力,并简化了工艺流程,降低了封装成本。
主权项:1.一种高结合力铜凸点结构的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一:在裸硅正面进行刻蚀挖槽,再在槽中埋入相适配的芯片;步骤二:在裸硅正面进行TSV通孔的刻蚀及电镀;步骤三:在TSV通孔上进行RDL重布线层的制作;步骤四:将步骤三所得半成品与玻璃键合;步骤五:对裸硅背面进行减薄,并制备光阻图形,露出光阻开口;步骤六:在光阻开口处进行硅刻蚀形成凹坑,露出正面TSV通孔的底部;步骤七:在刻蚀后的凹坑处沉积绝缘层,再电镀或填充导电聚合物,形成槽内凸点,再去除表面的光阻图形;步骤八:拆除玻璃,并对槽内凸点两侧的硅进行刻蚀,露出槽内凸点和芯片背部,并在芯片背部贴上散热片。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 华天科技(昆山)电子有限公司 一种高结合力铜凸点结构及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。