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申请/专利权人：湖北九峰山实验室
摘要：本发明涉及一种MEMS电容式传感器及麦克风，所述传感器包括：双层振膜、具有通孔的背板和基底，其中双层振膜与背板形成差分电容，所述双层振膜的端部设有多个密封结构，每个密封结构用于将双层振膜的可动部分密封，并使所述可动部分形成低压区域；所述密封结构与所述双层振膜端部共同形成狭缝，所述狭缝贯穿双层振膜并延伸至基底；所述双层振膜包括绝缘结构，所述绝缘结构位于基底与密封结构之间，并与基底形成释放阻挡结构，用于确定双层振膜的有效面积。本发明通过密封双膜结构和绝缘结构，提高振膜的有效面积，并消除寄生电容。
主权项：1.一种MEMS电容式传感器，包括：双层振膜、具有通孔的背板和基底，其中双层振膜与背板形成差分电容，其特征在于，所述双层振膜的端部设有多个密封结构，每个密封结构用于将双层振膜的可动部分密封，并使所述可动部分形成低压区域；所述密封结构与所述双层振膜端部共同形成狭缝，所述狭缝贯穿双层振膜并延伸至基底；所述双层振膜包括绝缘结构，所述绝缘结构位于基底与密封结构之间，并与基底形成释放阻挡结构，用于确定双层振膜的有效面积。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北九峰山实验室 一种MEMS电容式传感器、麦克风
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