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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：一种生成用于图案化过程的特征图案和训练机器学习模型的方法。用于生成特征图案的方法包括：获得经训练的生成器模型和输入图案，该经训练的生成器模型被配置为生成特征图案例如热点图案；以及经由经训练的生成器模型例如CNN的模拟，基于输入图案生成特征图案，其中，输入图案是随机向量、一种类型图案中的至少一者。
主权项：1.一种生成用于图案化过程的特征图案的方法，该方法包括：获得经训练的生成器模型和输入图案，所述经训练的生成器模型被配置为生成特征图案；以及经由所述经训练的生成器模型的模拟，基于所述输入图案生成所述特征图案，其中，所述输入图案是随机向量或一种类型图案中的至少一者。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 用于生成特性图案和训练机器学习模型的方法
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