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氮化硅粉末及其制造方法、和氮化硅烧结体及其制造方法 

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申请/专利权人:电化株式会社

摘要:提供一种氮化硅粉末,其为包含氮化硅及碳的氮化硅粉末,其中,相对于粉末整体而言的碳的质量比率Cp为0.05%以上,相对于粉末整体而言的在粉末的表面部所包含的碳的质量比率Cs为0.05%以下。提供一种氮化硅粉末的制造方法,其具有:对包含硅粉末和有机粘结剂的混炼物进行成型而得到成型体的工序;将成型体于900℃以上且低于1100℃加热1小时以上进行脱脂的工序;在包含氮和选自由氢及氨组成的组中的至少一者的混合气氛下对成型体进行烧成而得到包含氮化硅和碳的烧成物的工序;和将烧成物粉碎的工序。

主权项:1.氮化硅粉末,其为包含氮化硅及碳的氮化硅粉末,其中,相对于粉末整体而言的所述碳的质量比率Cp为0.05%以上,相对于所述粉末整体而言的在所述粉末的表面部所包含的碳的质量比率Cs为0.05%以下。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 电化株式会社 氮化硅粉末及其制造方法、和氮化硅烧结体及其制造方法

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