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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本文提供用于在多重腔室处理工具或系统中使用的连结腔室的实施方式。在某些实施方式中，一种用于在多重腔室处理工具中使用的连结腔室包括：连结腔室主体，具有在底板及顶板之间延伸的多个面facet，其中多个面的至少七个具有腔室开口，以形成多个腔室开口，其中多个腔室开口经尺寸设计以使基板通过所述腔室开口，且其中多个腔室开口的每一者配置成耦合至狭缝阀、装载锁定腔室、覆盖板、工艺腔室或第二连结腔室主体。
主权项：1.一种用于在多重腔室处理工具中使用的连结腔室，包含：连结腔室主体，所述连结腔室主体具有在底板及顶板之间延伸的多个面，其中所述多个面的至少七个具有腔室开口，以形成多个腔室开口，其中所述多个腔室开口经尺寸设计以使基板通过所述腔室开口，且其中所述多个腔室开口的每一者配置成耦合至狭缝阀、装载锁定腔室、覆盖板、工艺腔室或第二连结腔室主体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 具有用于超高真空工艺的连结腔室的模块化多重腔室处理工具
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