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申请/专利权人：日立安斯泰莫株式会社
摘要：本发明实现一种半导体诊断系统，其具有高精度地探测半导体部件20的故障的前兆的功能，并且低成本。半导体诊断系统100包括：半导体部件20，其具有输出用于诊断物理量的特性变动的被诊断用信号22的功能部21；基准生成部10，其输出基准信号11，该基准信号11表示成为用于诊断特性变动的基准的物理量；以及诊断部30，其用于检测被诊断用信号22所表示的物理量的特性变动。诊断部30输出被诊断用信号22表示的物理量与基准信号11表示的物理量的比较结果，基准生成部10配置在环境影响比半导体部件20小的场所。由此，能够高精度地探测半导体部件20的故障的前兆。
主权项：1.一种半导体诊断系统，其特征在于，具备：半导体部件，其具有输出用于诊断物理量的特性变动的被诊断用信号的功能部；基准生成部，其输出基准信号，该基准信号表示成为用于诊断所述特性变动的基准的物理量；以及诊断部，其用于检测所述被诊断用信号所表示的所述物理量的所述特性变动，所述诊断部输出所述被诊断用信号表示的所述物理量与所述基准信号表示的所述物理量的比较结果，所述基准生成部配置在环境影响比所述半导体部件小的场所。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日立安斯泰莫株式会社 半导体诊断系统
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