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申请/专利权人：出光兴产株式会社
摘要：一种半导体膜，包含掺杂有锡及氢的氧化铟的固相晶化物。
主权项：1.一种半导体膜，其特征在于，包含掺杂有锡及氢的氧化铟的固相晶化物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 出光兴产株式会社 半导体膜及半导体膜的制造方法
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