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申请/专利权人：无锡富创得精密设备有限公司
摘要：本申请提供了一种应用于真空环境的机械手装置，包括机械手组件、第一底座、第二底座、第一密封传动结构、磁流体传动组件、第一传动轴和驱动装置，其中机械手组件设置于第一底座上，第一底座的外壁上环绕设置有隔离凸起，隔离凸起与外部的部件连接，机械手组件的输出端通过第一密封传动结构对应连接第一传动轴，第一转动轴通过第一联轴器与磁流体转动组件连接，磁流体传动组件包括波纹管和第二传动轴，波纹管的两端分别对应连接第一底座和驱动装置以形成第一密封结构，波纹管和第二传动轴之间充满磁性流体以形成第二密封结构。本发明中形成三层独立的密封结构，实现了轴向密封的功能，进而实现机械手能够在真空环境作业。
主权项：1.一种应用于真空环境的机械手装置，其特征在于，包括机械手组件、第一底座、第二底座、第一密封传动结构、磁流体传动组件、第一传动轴和驱动装置，其中所述机械手组件设置于所述第一底座上，且所述机械手组件处于真空腔体内，所述第一底座的外壁上环绕设置有隔离凸起，所述隔离凸起与外部的部件连接，以使所述真空腔体与所述第二底座所处的环境隔开，所述第一密封传动结构设置于所述第一底座内，所述机械手组件的输出端通过所述第一密封传动结构对应连接所述第一传动轴，所述第一转动轴上远离所述机械手组件的一端通过第一联轴器与所述磁流体转动组件连接，所述磁流体传动组件包括波纹管和第二传动轴，所述波纹管的两端分别对应连接所述第一底座和所述驱动装置以形成第一密封结构，所述第二传动轴的的两端对应连接所述第一转动轴和所述驱动装置，所述波纹管和所述第二传动轴之间充满磁性流体以形成第二密封结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡富创得精密设备有限公司 一种应用于真空环境的机械手装置
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