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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本发明公开了一种四端法电阻测试结构，测试单元包括：由两个以上被测试电阻串联形成的电阻串，各被测试电阻的两端分别设置有一个第一焊垫，各被测试电阻的两个第一焊垫中的至少一个和相邻的被测试电阻的第一焊垫共用。各被测试电阻都包括两个激励端和两个测量端，两个激励端由被测试电阻的两端的第一焊垫形成以及两个测量端分别由位于对应的激励端相邻位置上的一个焊垫组成。当选定被测试电阻的选定激励端对应的第一焊垫和相邻被测试电阻共用时，选定被测试电阻的和选定激励端相邻的选定测量端由相邻被测试电阻的另一端的第一焊垫组成。本发明能在保证测量精度的条件下节省焊垫数量并从而节省面积。
主权项：1.一种四端法电阻测试结构，其特征在于，包括多条测试单元，各所述测试单元包括：由两个以上被测试电阻串联形成的电阻串，所述电阻串中包括多个焊垫，所述焊垫包括第一焊垫；各所述被测试电阻的两端分别设置有一个第一焊垫，各所述被测试电阻的两个第一焊垫中的至少一个和相邻的所述被测试电阻的第一焊垫共用；各所述被测试电阻都包括两个激励端和两个测量端，两个激励端由所述被测试电阻的两端的所述第一焊垫形成以及两个所述测量端分别由位于对应的所述激励端相邻位置上的一个焊垫组成；当选定被测试电阻的选定激励端对应的所述第一焊垫和相邻被测试电阻共用时，所述选定被测试电阻的和所述选定激励端相邻的选定测量端由所述相邻被测试电阻的另一端的所述第一焊垫组成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 四端法电阻测试结构
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