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申请/专利权人：世源科技工程有限公司;中国电子工程设计院股份有限公司
摘要：本发明涉及超纯水抛光技术领域，公开一种超纯水抛光系统，超纯水抛光系统包括：水箱、供水管路和回流管路，回流管路串联有回流比例背压阀和回流纯水箱自动阀，回流管路的出口与水箱的入水口连接，供水管路的入口与水箱的出水口连接；供水管路上设有用于调节超纯水参数的超纯水工艺处理设备，回流纯水箱自动阀与水箱的入水口之间设有回流滤器，突破不在回流管路设置超纯水工艺处理设备的思维定势和固有做法，克服了技术偏见，在回流纯水箱自动阀与水箱的入水口之间设有回流滤器，用于滤除回流管路中回流水的污染物，与供水管路的超纯水工艺处理设备一起形成处理工艺流程的全闭环，缓解回流管路中回流水容易出现污染物的技术问题。
主权项：1.一种超纯水抛光系统，其特征在于，包括：水箱、供水管路和回流管路，所述回流管路串联有回流比例背压阀和回流纯水箱自动阀，所述回流管路的出口与所述水箱的入水口连接，所述供水管路的入口与所述水箱的出水口连接；所述供水管路上设有用于调节超纯水参数的超纯水工艺处理设备，所述回流纯水箱自动阀与所述水箱的入水口之间设有回流滤器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 世源科技工程有限公司 中国电子工程设计院股份有限公司 一种超纯水抛光系统
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