龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：苏州中科重仪半导体材料有限公司
摘要：本发明提供了外延生长装置，涉及半导体材料科学与工程技术领域，旨在解决现有技术或相关技术中半导体晶圆的旋转方式单一的技术问题。外延生长装置包括；固定板；支撑盘可转动地设于固定板上，支撑盘上设置有容纳槽和避让通孔，多个容纳槽环绕避让通孔设置；第一驱动组件设于固定板，用于驱动支撑盘围绕支撑盘的中轴线转动；每一容纳槽内设置有一个储物盘，储物盘用于放置半导体晶圆；转动齿设于避让通孔处，与多个储物盘连接；第二驱动组件设于固定板，用于驱动转动齿转动，以带动多个储物盘围绕各自的中轴线转动；加热器设置在固定板上方，且位于支撑盘的下方。本发明的外延生长装置，储物盘既可以公转的同时，又可以实现自转，加热效果更好。
主权项：1.一种外延生长装置，其特征在于，包括：固定板；支撑盘，可转动地设于所述固定板上，所述支撑盘上设置有多个容纳槽和一个避让通孔，所述避让通孔的中轴线与所述支撑盘的中轴线相同，多个所述容纳槽环绕所述避让通孔设置；第一驱动组件，设于所述固定板，与所述支撑盘连接，用于驱动所述支撑盘围绕所述支撑盘的中轴线转动；储物盘，每一所述容纳槽内设置有一个所述储物盘，所述储物盘用于放置半导体晶圆；转动齿，设于所述避让通孔处，与多个所述储物盘连接；第二驱动组件，设于所述固定板，与所述转动齿连接，用于驱动所述转动齿转动，以带动多个所述储物盘围绕各自的中轴线转动；加热器，设置在所述固定板上方，且位于所述支撑盘的下方；所述第一驱动组件包括：第一支撑轴承，与所述固定板连接；第一回转齿轮，设于所述第一支撑轴承内侧，与所述支撑盘连接；第一驱动件，与所述第一回转齿轮连接，用于驱动所述第一回转齿轮转动，以带动所述支撑盘转动；所述第二驱动组件包括：第二支撑轴承，与所述固定板连接；第二回转齿轮，设于所述第二支撑轴承外侧，与所述转动齿连接；第二驱动件，与所述第二回转齿轮连接，用于驱动所述第二回转齿轮转动，以带动所述转动齿转动；所述外延生长装置还包括排气管，分别与所述第二回转齿轮和所述转动齿连接；其中，所述第二回转齿轮能够带动所述排气管转动，以带动所述转动齿转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州中科重仪半导体材料有限公司 外延生长装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号