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申请/专利权人：浜松光子学株式会社
摘要：荧光体面板的制造方法包括：在出射窗上形成具有多个荧光体颗粒的荧光体层的工序；在荧光体层上形成有机膜的工序；在有机膜上形成金属反射膜的工序；通过烧成除去有机膜的工序；以及通过原子层沉积法形成一体地覆盖金属反射膜的表面和荧光体颗粒的表面的氧化物膜的工序。
主权项：1.一种荧光体面板的制造方法，其特征在于，包括：在透光性基板上形成具有多个荧光体颗粒的荧光体层的工序；在所述荧光体层上形成有机膜的工序；在所述有机膜上形成金属反射膜的工序；通过烧成除去所述有机膜的工序；以及通过原子层沉积法形成一体地覆盖所述金属反射膜的表面和所述荧光体颗粒的表面的氧化物膜的工序。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浜松光子学株式会社 荧光体面板的制造方法、荧光体面板、图像增强器和扫描型电子显微镜
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