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申请/专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
摘要：本申请涉及一种晶圆载具及机台，该晶圆载具包括工作台，用于承载晶圆，工作台具有晶圆放置槽；工作台承载晶圆时，晶圆放置槽的槽边支撑晶圆的边缘，晶圆与晶圆放置槽的底面之间具有间隙；底部吹气装置，设置于所述晶圆放置槽内，用于对所述晶圆施加第一压力；顶部吹气装置，设置于所述晶圆放置槽的上方，用于对所述晶圆施加第二压力。该晶圆载具通过给与晶圆气压，使晶圆放置在工作台上时不弯曲，提高晶圆修整的准确性，使晶圆更容易达到加工标准，提高生产良率。
主权项：1.一种晶圆载具，其特征在于，包括：工作台，用于承载晶圆，所述工作台具有晶圆放置槽；所述工作台承载所述晶圆时，所述晶圆放置槽的槽边支撑所述晶圆的边缘，所述晶圆与所述晶圆放置槽的底面之间具有间隙；底部吹气装置，设置于所述晶圆放置槽内，用于对所述晶圆施加第一压力；顶部吹气装置，设置于所述晶圆放置槽的上方，用于对所述晶圆施加第二压力；其中，所述工作台承载所述晶圆时，所述底部吹气装置与所述顶部吹气装置分别位于所述晶圆相对的两侧；所述第二压力与所述第一压力的方向相反，所述第一压力与所述第二压力共同作用于所述晶圆，以调整所述晶圆的弯曲值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥晶合集成电路股份有限公司 晶圆载具及机台
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